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Experis®準分子激光混合氣
便捷的本地化供應

準分子激光混合氣是將鹵化物(氟/氯)和稀有氣體(氪、氖或氙)進行混合,從而在深紫外線范圍內產生激光。憑借著30多年生產Experis混合氣體的豐富經驗,空氣產品公司生產的Experis準分子激光混合氣成分精準穩定,雜質含量超低,適合準分子光刻應用。本地化生產,讓您無需再從歐美進口,節省時間和成本。

空氣產品公司Experis準分子激光混合氣的優勢:

  • 準分子激光混合成分穩定性更高、保質期更長
  • 水氧等影響鹵化物穩定性的雜質含量更低
  • 無錫工廠本地化生產,快速響應您的需求
  • 配合本地化生產的6N超高純氣體和稀有氣體,供應更可靠、便捷



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